薄膜高温热流测量技术研究

摘要：

薄膜热流传感器具有响应时间快,体积小等优势,可用于航空、航天等领域高速飞行器表面短时间的高温热流瞬态测量.热流传感器原理基于不同热障层薄膜下薄膜热电偶温度变化量的大小,通过离子束溅射镀膜工艺成功制备快速响应薄膜高温热流传感器.试验结果表明:该传感器热响应时间可达0.1s,温度可达900℃.

关键词：薄膜、热流检测、离子束溅射、高温、快速响应

所属期刊栏目：33

分类号：TP212(自动化技术及设备)

在线出版日期：2013-01-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：1-3