LT286E4型晶体管失效案例分析

摘要：

通过晶体管上铝布线热熔的案例,详细介绍了失效分析过程,揭示了导致铝布线热熔的主要原因,为避免出现类似问题提供了改进的依据.

关键词：晶体管、失效分析、可靠性

所属期刊栏目：33

分类号：TN4(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2012-11-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：23-24