基于三次B样条函数的SEM图像处理

摘要：

SEM图像由于其独特的实际测试意义,需要在去噪的同时突出边缘和准确的边缘提取定位,所以提出采用能够保持边缘的偏微分方法去噪和广泛应用的多尺度小波提取边缘,基于三次B样条函数作为核心算子,对用于线宽测试的SEM图像进行处理,获得了较好的去噪并保持边缘的效果以及清晰的图像边缘检测效果.

关键词：SEM图像、B样条函数、PM方程、多尺度小波、边缘检测

所属期刊栏目：32

分类号：TP391.4(计算技术、计算机技术)

在线出版日期：2012-04-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：58-61