集成电路中的天线效应

摘要：

天线效应会在MOS集成电路制造中引起良率和可靠性的问题,当芯片尺寸在深亚微米以下的工艺中更容易产生.介绍了集成电路中天线效应产生的原理,以及在版图设计中为避免天线效应所常用的几种方法.

关键词：天线效应、版图设计、深亚微米

所属期刊栏目：32

分类号：TN4(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2012-04-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：6-7,11