微型薄膜集成氢气敏感器件的研制

摘要：

采用将类光激发二极管(即N-Si/Thin-Si02/Thin-Ta/PdCr/Pt结构)、PdCr合金薄膜电阻、Pt加热和感温双电阻温控系统等集成的方式,研制了微型薄膜集成氢气敏感器件,能稳定测量0～2%体积分数的氢气,且具有较快的响应和恢复时间.

关键词：氢气氢敏、薄膜、PdCr合金、Pt、二极管、电阻、溅射

所属期刊栏目：32

分类号：TP212(自动化技术及设备)

在线出版日期：2011-08-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：17-19