10.3969/j.issn.1002-2279.2009.06.001
Nikon步进重复光刻机的对位机制
具体探讨了Nikon步进重复光刻机掩膜版和硅片的对位过程及硅片对位结果的检测方法.分析了硅片对位过程中产生的对偏现象,用EGA算法对对偏进行计算和补偿,同时探讨了对偏产生的原因及对应的处理方法,给掩膜-硅片的对位过程中出现的问题提供了解决方案.
光刻、硅片对位、对偏、算法
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TN305.7(半导体技术)
2010-04-09(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
1-3,7