10.3969/j.issn.1002-2279.2009.02.009
应用自动喷涂技术修复掩模版透明缺陷实验
首先简要介绍了缺陷修复系统中自动喷涂技术的定义,应用自动喷涂技术修复掩模版透明缺陷的优势以及实验目的,然后通过实验确定了对掩模版透明缺陷实现完美修复的自动喷涂参数的最佳组合,最后总结了实验结论.
缺陷修复系统、自动喷涂技术、掩模版、透明缺陷修复
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TN305.6(半导体技术)
2009-06-23(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
25-27
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10.3969/j.issn.1002-2279.2009.02.009
缺陷修复系统、自动喷涂技术、掩模版、透明缺陷修复
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TN305.6(半导体技术)
2009-06-23(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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