硅基螺旋电感模型及Q值优化

摘要：

分析了硅基螺旋电感的集总π模型,讨论了高频下衬底对Q值的影响,并用Matlab仿真了Q值随几何尺寸改变而变化的情况.对于0.35μm CMOS工艺,铜制电感的Q值比同等条件下铝制电感高38.5%,另外增加连线金属的厚度可以有效提高Q值.

关键词：电感、π模型、Q值、谐振、衬底损耗

所属期刊栏目：29

分类号：TN4(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2008-06-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：25-27,30