ONO结构反熔丝介绍

摘要：

对熔丝结构和反熔丝结构的优缺点进行了对比,重点介绍了ONO(氧化物-氮化物-氧化物)结构反熔丝的结构和工作原理,对关键的技术参数之间的关系进行了论述,并通过其工艺中的技术难点进行了分析和研究.给出了实际应用的版图,并对流片得出的数据进行了总结分析,从数据上得出了各种结构的优缺点.同时对反熔丝结构的下一步发展做出了预测.

关键词：熔丝、反熔丝、氧化物-氮化物-氧化物

所属期刊栏目：28

分类号：TN4(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2008-04-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：17-18