10.3969/j.issn.1002-2279.2002.03.002
微电子机械系统(MEMS)发展研究
叙述了世界MEMS产业和市场情况,介绍了当前MEMS的设计、制造、封装和测试技术,最后浅析了MEMS产品的商品化进展.
微电子机械系统、微电子、商品化、产品
TN4(微电子学、集成电路(IC))
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
4-7
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10.3969/j.issn.1002-2279.2002.03.002
微电子机械系统、微电子、商品化、产品
TN4(微电子学、集成电路(IC))
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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