热处理温度对铸造多晶硅棒切割性能与电性能的影响

摘要：

采用箱式气氛炉对铸造多晶硅棒进行热处理,研究了热处理温度对多晶硅方棒硬度、切割性能的影响.结果 表明,经800、1 000、1 100℃热处理5h后多晶硅方棒硬度提高,而1 150℃处理后,硬度开始下降,1 200℃处理后硬度明显下降.经1 200℃以上处理后多晶硅方棒切割性能优良,在使用金刚线切片机切割过程中,线痕、崩边、总厚度偏差(TTV)等现象明显得到改善.然而,经上述工艺热处理的多晶硅棒经常规工艺制成的电池片光电转换效率显著下降,这可能是热处理过程中气氛炉保温材料中的杂质元素扩散至方棒中,影响了电池的光电转换效率.

关键词：铸造多晶硅、高温热处理、硬度、光电转换效率

所属期刊栏目：41

分类号：TG156.1(金属学与热处理)

在线出版日期：2021-05-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：471-473