氮化硅涂层改性石英颗粒辅助生长高效多晶硅

摘要：

在坩埚底部铺设与硅熔体浸润性较好的石英颗粒辅助晶体生长可以生长出晶粒细小且分布均匀的柱状晶粒,从而提高了多晶硅电池的光电转换效率.研究了氮化硅涂层改性石英颗粒对多晶硅生长和脱模的影响.结果表明,氮化硅涂层改性石英颗粒辅助生长可以获得晶粒细小且分布均匀的柱状晶粒,从而降低多晶硅缺陷密度,提高多晶硅质量,同时实现石英颗粒与晶体硅之间的自发分离,避免多晶硅与石英颗粒间因粘结而产生的应力问题.

关键词：高效多晶硅、氮化硅涂层、石英颗粒

所属期刊栏目：34

分类号：O782+.9;O613.72(晶体生长)

在线出版日期：2014-09-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：800-803