多晶硅铸锭用石英坩埚氮化硅涂层免烧结工艺研究
研究了石英坩埚氮化硅涂层免烧结工艺.在氮化硅浆料中加入一定量固体和液体粘结剂,使氮化硅粉强有力地吸附在坩埚内壁,喷涂完成后在70~80℃保温2h直接装入硅料,免去了传统涂层制备工艺中坩埚需在1 050℃温度下烧结6~7 h的工艺过程.此工艺可缩短晶锭的生产周期,提高生产效率,降低生产成本.
多晶硅、免烧结、氮化硅涂层、粘结剂
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TM914.4+1;TN304.1+2
2013-04-15(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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