多晶硅铸锭用石英坩埚氮化硅涂层免烧结工艺研究

摘要：

研究了石英坩埚氮化硅涂层免烧结工艺.在氮化硅浆料中加入一定量固体和液体粘结剂,使氮化硅粉强有力地吸附在坩埚内壁,喷涂完成后在70～80℃保温2h直接装入硅料,免去了传统涂层制备工艺中坩埚需在1 050℃温度下烧结6～7 h的工艺过程.此工艺可缩短晶锭的生产周期,提高生产效率,降低生产成本.

关键词：多晶硅、免烧结、氮化硅涂层、粘结剂

所属期刊栏目：33

分类号：TM914.4+1;TN304.1+2

在线出版日期：2013-04-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：116-118