单晶铜键合丝的球键合性能研究

摘要：

通过对自制单晶铜键合丝进行球键合工艺试验,并对键合后焊点分别进行键合拉力(BPT)和剪切力(BST)测试,以及对键合点的组织、界面进行观察和显微硬度测试.结果表明, 单晶铜键合丝进行球键合后,焊点所能承受的拉断力和剪切力均为近似正态分布,具有较高的可信度,50 μm的单晶铜键合丝的CPK值达到1.8以上,属于优质的过程能力指数.焊点经过可靠性试验后,界面依然清晰、较为平直,没有发现界面处形成微量弥散分布的金属间化合物和Kirkendall空洞,表现出稳定的电学和界面组织性能.

关键词：单晶铜键合丝、球键合、可靠性

所属期刊栏目：29

分类号：TG146.1+1(金属学与热处理)

资助基金：甘肃省科技攻关资助项目2GS064-A52-036-05

在线出版日期：2009-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：582-584