10.3969/j.issn.1671-7139.2010.05.022
磁力泵在多晶硅装置中的应用
介绍了多晶硅生产的发展情况及主要工艺流程,磁力泵在多晶硅生产中的应用,详细介绍了HMD磁力泵为多晶硅生产二次控制要求进行的改进技术。
多晶硅、磁力泵、二次控制
TH35(泵)
2011-09-07(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
23-24
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10.3969/j.issn.1671-7139.2010.05.022
多晶硅、磁力泵、二次控制
TH35(泵)
2011-09-07(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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