新型光电探测器的研究

摘要：

针对RCE光电探测器存在的问题提出两种解决方案.将InP/空气隙的分布布拉格反射镜(DBR)结构引入RCE光探测器,只用1.5对InP/空气隙计算反射率约为95%,解决了长波长反射镜制备问题.所制备的器件,在波长1.585μm处获得了约54.5%的峰值量子效率,以及8GHz的3dB响应带宽.另一种引入斜镜结构解除了量子效率与超窄光谱响应线宽的相互制约.

关键词：RCE光电探测器、长波长、空气隙、斜镜、量子效率

所属期刊栏目：25

分类号：TN362(半导体技术)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2003AA312020,2003AA31G050;国家自然科学基金90201035

在线出版日期：2005-02-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：120-124