通信领域中的微机械谐振器件

摘要：

无线通信的发展要求系统中的无源器件小型化,以实现系统单片集成.微加工技术制作的无源器件不仅可以满足小型化要求,而且在300kHz到14.5MHz频段内,其品质因子(Q值)可高达50 000.鉴于此,本文以表面加工技术、体加工技术以及键合技术制作的MEMS谐振器以及由它和耦合梁组成的滤波器为重点,介绍了它们的工作原理、设计和制作方法,最后讨论了在高频范围内制约MEMS谐振器件工作性能的因素.

关键词：微加工、谐振器、滤波器、谐振梁、耦合梁、Q值

所属期刊栏目：22

分类号：TN703;TN305(基本电子电路)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：102-108