集成电路测试系统微小微电子参量校准技术研究

摘要：

利用集成电路测试系统,可以完成小于1mV和1mA的直流电压和电流的测试.而想要确保测量值准确可靠,还要使用相应的校准技术进行微小微电子参量的校准.基于这种认识,本文对微小微电子参量特性展开了分析,然后对其校准技术展开了研究,从而为关注这一话题的人们提供参考.

关键词：集成电路测试系统、微小微电子、参量校准

分类号：TN407(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2016-10-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：225