纳米集成电路大生产的新技术及发展探索

摘要：

随着科学技术的快速发展，微电子事业也更加进步，促使传统的集成电路必须进行相应的革新，但微电子事业整体发展步伐趋于缓慢。文中从纳米技术在集成电路大发展中的应用展开研究，根据目前的技术发展趋势探究纳米技术的发展现状及趋势。

关键词：纳米集成电路、新技术、发展

分类号：TN47(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2015-12-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：177-177,178