10.3969/j.issn.1006-4222.2015.04.137
MEMS传感器现状及应用
随着我国科技的不断进步,MEMS传感发展迅猛,在各个领域内得到广泛应用。再次情况下,本文阐述了MEMS技术的特点,分析了其在各领域内的具体应用情况,并对MEMS传感器的发展趋势进行了展望。
微电子机械系统(MEMS)、传感器、应用
TP212(自动化技术及设备)
2015-05-04(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共1页
207-207
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10.3969/j.issn.1006-4222.2015.04.137
微电子机械系统(MEMS)、传感器、应用
TP212(自动化技术及设备)
2015-05-04(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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