两段PTSA法制备电子级液体CO2技术及工业化应用

摘要：

介绍了四川天一科技股份有限公司自主研发的两段PTSA法制备电子级液体CO2技术,该技术以富CO2的气体作为原料,提纯得到电子级液体CO2,产品符合半导体行业的质量要求.该技术已在工业化装置上成功运行,工程应用的结果表明其具有产品质量可靠、能耗低、投资少、运行费用低的优点.

关键词：PTSA工艺、电子级、液体二氧化碳、生产技术

所属期刊栏目：44

分类号：TQ028.15;TQ116.3(一般性问题)

在线出版日期：2019-07-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：98-102