10.3969/j.issn.1001-9219.2009.02.001
Pd/γ-Al2O3对超薄金属钯复合膜表面缺陷修复的研究
通过对化学镀制备的超薄金属钯复合膜的表面缺陷填充Pd/γ-Al2O3,粒子并提供钯核,进而通过化学镀制备了致密超薄金属钯复合膜.结果表明,首次化学镀制备的金属钯膜的厚度约为1.22μm,而以Pd/γ-Al2O3粒子对其缺陷进行填充并进一步化学镀制备的钯膜厚度仅增大到1.32μm,说明第二次化学镀金属钯主要沉积在经Pd/γ-Al2O3粒子填充的缺陷位上.在400℃,100kPa压力下,氢气渗透速率为0.8378mol·m-2·s-1为初镀钯膜的81%,而H2/N2理想分离因子从初镀膜的370增大到13700.可见,该方法实现了超薄金属钯复合膜缺陷的局部修复,在基本不增加膜厚的前提下,有效地消除了钯复合膜的表面针孔.
钯、化学镀、复合膜、表面缺陷、修复、氢气分离
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O643(物理化学(理论化学)、化学物理学)
国家重点基础研究发展计划973计划2005CB221401
2009-05-26(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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