基于MEMS技术的动态红外场景模拟技术

摘要：

基于MEMS可见光/红外转换芯片的动态红外场景生成器,具有波段宽、空间分辨率高、成本低等特点,可应用于半实物(HWIL)仿真系统中作为红外场景模拟器,也可以作为红外成像探测系统的测试设备.通过MEMS工艺在大面积自悬浮薄膜上制作周期性微结构阵列作为像元阵列实现高分辨率.本文研究了转换芯片的工作原理,并制作了像元阵列数大于1 024×1 024,像元尺寸35μm×35μm的转换芯片.利用该转换芯片构建了动态红外场景模拟器,实验结果表明动态红外场景模拟器系统满足空间分辨率大于1 024×1 024,工作波段范围3～5 μm和8～12 μm,温度范围283 K～500 K,帧频50 Hz,灰度等级256等性能.

关键词：MEMS可见光/红外转换芯片、红外场景生成、半实物仿真、MEMS

所属期刊栏目：1

分类号：TN216(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2019-01-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：50-55