基于分数阶PID及内模原理的长行程直线电机控制系统设计

摘要：

为了对长行程直线电机进行精确伺服控制,提出了一种结合分数阶PID及内模控制原理的控制系统.以内模控制器作为电流环控制器、分数阶PID作为位置环控制器,在简化了控制器设计、降低调试难度的同时,保证了跟踪精度.最后,对长行程直线电机驱动的光刻机掩模台宏动台进行了仿真验证,验证了所提出的控制策略的有效性.

关键词：分数阶PID控制、内模控制、控制系统设计、直线电机、光刻机

所属期刊栏目：35

分类号：TP391(计算技术、计算机技术)

资助基金：国家科技重大专项基金资助项目2009ZX02207

在线出版日期：2016-06-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：59-64