10.3969/j.issn.1671-024X.2003.05.011
激光微加工中运动控制系统的设计
设计了激光微加工系统中的运动控制系统,探讨了系统的组成、设计与实现.系统由目标值设定器、数字控制器、运动执行机构和位置检测用光栅尺构成.文中重点讨论了闭环运动控制系统中控制目标值的形成、执行机构X-Y平台的模型以及运动控制的算法等问题,控制精度达2 μm.
激光微加工、运动控制、X-Y平台、光栅尺
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TG151;TP391(金属学与热处理)
2004-02-13(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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