异型热管反应器硅烷分解过程流场的数值模拟

摘要：

基于异型热管传热机理,设计出一套适用于硅烷法生产电子级高纯多晶硅的反应器,利用Fluent软件对反应器内流场进行了研究.结果表明:反应器内温度场比较均匀,异型热管的加入改善了温度分布,各截面温度随进料气进口速度增加而降低,进口速度由10 m/s提高到50 m/s,反应器内温度降低了4.64％;各截面温度随硅棒增粗而逐渐升高,硅棒从60 mm增粗至140 mm,反应器内温度升高了9.44％;反应器内各截面硅烷浓度大致保持均匀,各截面硅烷浓度随进料气进口速度增加,随硅棒增粗而降低;硅棒表面沉积速率随进料气进口速度增加而提高,随硅棒增粗而降低.

关键词：多晶硅、硅烷分解、反应器、流场、数值模拟

所属期刊栏目：51

分类号：TK175(热力工程、热机)

资助基金：天津市自然科学基金资助项目13JCZDJC27200.the Natural Science Foudation of Tianjin,China 13JCZDJC27200

在线出版日期：2018-06-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：278-283