内外环电容传感器灵敏度仿真

摘要：

为设计应用于两相流相关流速测量的电容传感器,得到传感器的几何参数对其灵敏度特性的影响,利用数值方法对内外环电容传感器的灵敏度特性进行分析.利用有限元分析软件建立传感器电场的仿真模型并进行了基本仿真,采用正交实验设计方法安排仿真实验.分析结果表明,屏蔽罩长度和内管壁厚度是影响传感器相对灵敏度的主要因素,而屏蔽罩与外极板间距对检测场均匀性误差影响比较大.优选出一组传感器的结构参数,内管壁厚度3 mm,外管壁厚度2 mm.屏蔽罩与外极板间距3 mm,对管壁相对介电常数的要求则是越接近于1越好.利用优选的结构参数进行仿真,可以得到比较好的传感器灵敏度特性,为内外环电容传感器的设计提供了理论依据.

关键词：内外环电容传感器、传感器设计、灵敏度分析、数值仿真

所属期刊栏目：41

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：国家863计划资助项目2007AA04Z180

在线出版日期：2009-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1309-1313