数字光栅测振传感器性能分析与测试

摘要：

为完善光栅测振传感器的性能,将光栅莫尔条纹技术应用到振动测量,在完成光栅测振传感器原理性实验的基础上,进行了理论分析,并就其特性进行了实验研究.通过构建高精度光栅传感器测试系统,对传感器的静动态特性进行深入研究,并建立了动态模型.实验证明,光栅测振传感器分辨力可达0.025μm,动态频率误差小于1.5%,振幅误差小于3.8%.

关键词：光栅传感器、莫尔条纹、振动测量、数字信号、特性测试

所属期刊栏目：38

分类号：TH74.1;TH763.1(仪器、仪表)

资助基金：中国科学院资助项目40174031

在线出版日期：2005-12-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：919-922