高精度电容测微仪关键技术

摘要：

针对非接触式电容测微技术的应用问题,介绍了非接触式高精度电容测微仪的基本工作原理及关键技术,给出了仪器的主要结构,对仪器电路进行了模块化设计,研究分析了实际测量过程中不可避免的各种误差,并提出了相应的消除或修正方法.研究结果表明,探头的有效直径为1 mm时,仪器的分辨率可达1 nm,测量范围为±5 μm.探头的有效直径为9 mm时,分辨率可降到0.1 μm,测量范围可扩大到±1 mm,动态频响0～4 kHz.

关键词：电容测微仪、非接触测量、误差修正

所属期刊栏目：37

分类号：TP212(自动化技术及设备)

在线出版日期：2004-11-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：787-791