TC4钛合金表面磁控溅射 TiAlN 涂层的组织与性能

摘要：

采用TiAl合金靶材，在TC4钛合金基材表面以不同磁控溅射工艺沉积制备了TiAlN涂层。利用扫描电子显微镜（ SEM）、能谱仪（ EDS）、 X射线衍射仪（ XRD）分别分析了不同工艺制备的TiAlN涂层的表面形貌、表面成分及相结构，并对TiAlN涂层的耐蚀性、耐磨性等进行了研究。结果表明，采用磁控溅射工艺可在TC4钛合金表面制备出表面相对平整且结构致密的TiAlN涂层；沉积了TiAlN涂层的TC4钛合金试样的表面性能得到了提高，其磨损失重量和TC4钛合金基材相比降低了80％，耐盐雾腐蚀性能达到了保护级9级。

关键词：TC4钛合金、TiAlN涂层、磁控溅射、耐蚀性、耐磨性

分类号：TG1;TB3

在线出版日期：2013-11-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：31-34