阵列MEMS测斜仪高精度误差补偿方法研究

摘要：

受制造工艺和本身系统误差的影响,基于微电子机械系统(Micro Electro Mechanical System,MEMS)的测斜仪初始精度较低.针对这一问题,提出一种综合性补偿算法,对MEMS的测斜仪进行校准和修正,保证其测量的有效性和可靠性.对基于阵列式的MEMS测斜仪进行系统性建模,综合考虑测斜仪零偏、标度因数、非正交性、安装误差、系统噪声等影响因素,对测斜仪测量结果实现高精度补偿.结果表明:统筹精度补偿算法具有较高的试验精度,能对以上误差进行有效校准,实现测斜仪的高精度误差补偿.

关键词：滑坡;边坡失稳;MEMS;深层位移;测斜仪;校准补偿

所属期刊栏目：62

分类号：U213.1+3;U666.16(铁路线路工程)

资助基金：国家重点研发计划2018YFC1505300

在线出版日期：2022-02-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：153-157