10.3969/j.issn.1008-1194.2010.01.002
聚酰亚胺多模干涉器结构的光学加速度传感器
针对电学原理的加速传感器在大温差、高电磁干扰的环境中的使用受限制,以及二氧化硅等无机材料制作的多模干涉器韧性差、折射率调节困难、尺寸较大等问题,提出了聚酰亚胺波导材料的多模干涉器结构集成光学加速度传感器.在外力作用下多模干涉器的输入/输出光场与干涉区会产生相对位移,导致各模式激励系数发生改变,通过输出场强的变化测得加速度.利用束传播法分析多模干涉结构以及环境温度与波导输出性能关系,以及有限元法分析力学结构对传感器性能的影响, 结果表明这种传感器具有加工冗余度高、温度稳定性高和线性度较好等优点.
加速度计、多模干涉器、聚酰亚胺、有限元法、束传播法、集成光学
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V241.4(航空仪表、航空设备、飞行控制与导航)
863项目资助2009AA04Z330;国家自然科学基金项目资助50535030
2010-05-17(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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