MEMS引信部件LIGA制作工艺及其问题分析

摘要：

探讨了包括标准LIGA技术,UV-LIGA技术在内的MEMS引信部件的制作方法,给出了使用现有LIGA技术加工MEMS引信部件的流程、存在的问题以及解决方案,对MEMS引信设计提出了基于工艺制作的要求和思考.

关键词：MEMS、引信、LIGA、工艺

所属期刊栏目：30

分类号：TJ43;TN405(弹药、引信、火工品)

在线出版日期：2009-02-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：48-51,56