静电驱动微机械梳状陀螺仪中典型结构的可靠性研究

摘要：

以经过结构参数优化后的微机械陀螺仪为研究对象,针对其梳齿驱动器、悬臂梁和平行板电容器这三种典型结构,分析了影响其结构可靠性的因素,验证了梳齿驱动器结构参数满足了稳定性要求;得到了感测平行板电容器的临界电压,讨论了平行板的弯曲变形的影响;为保证悬臂梁的可靠性,限定了陀螺仪的工作量程.

关键词：可靠性、微机械陀螺仪、典型结构、MEMS

所属期刊栏目：29

分类号：TP212(自动化技术及设备)

在线出版日期：2007-05-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：72-75