三明治结构大量程MEMS惯性伺服加速度计研究

摘要：

良好稳定性和大量程设计一直是困扰微惯性加速度计研制的两个难题,文中对影响微加速度计稳定性的主要因素(外置偏压和横向加速度干扰)进行了详细分析,对加速度计各参数对量程的本质影响及其相互关系进行了研究,理论分析和计算机仿真结果表明:根据给出的四梁中心悬臂结构,在典型结构参数下,惯性敏感单元可承受的最大横向加速度达2 000 g以上,采取质量块减薄和打孔并用的方法可以保证加速度计具有70g以上量程.

关键词：微机械加速度计、四梁中心悬臂结构、三明治结构

所属期刊栏目：26

分类号：TH824;V241.45

资助基金：国防预研基金4210106

在线出版日期：2005-01-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：38-41,51