梳状电容微加速度计结构设计和分析

摘要：

阐述了双侧梳状电容微加速度计的基本结构和工作原理,运用了计算机辅助软件对其进行建模和仿真,借助该模型分析了在1g加速下梁的长度变化对系统灵敏度的影响和系统对正弦激脉冲输入信号的响应特性,为加速度计的结构优化设计提供了依据.

关键词：梳齿状电容微加速度计、灵敏度、建模和仿真

所属期刊栏目：26

分类号：TP212;V492.322(自动化技术及设备)

在线出版日期：2005-01-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：21-24