10.3969/j.issn.1008-1194.2003.z1.016
压阻式硅微加速度传感器的结构设计与仿真
一般的压阻式硅微加速度传感器结构多采用单梁加质量块的形式,这种形式的传感器灵敏度比较高,但它的横向效应较难克服,文中提出一种四梁结构的加速度传感器,通过仿真计算,说明该结构的加速度传感器具有良好的综合特性.
加速度传感器、灵敏度、固有频率、横向效应
25
TJ4(弹药、引信、火工品)
2006-12-11(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
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10.3969/j.issn.1008-1194.2003.z1.016
加速度传感器、灵敏度、固有频率、横向效应
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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