软刻蚀技术

摘要：

软刻蚀是通过表面带图案的弹性模板来实现图案的转移的图形复制技术,为形成和制作平面和曲面上的微米和纳米图案提供了简便、有效的低成本途径.软刻蚀是微接触印刷、复制模塑、转移微模塑、毛细微模塑、溶剂辅助微模塑等的总称.本文将主要介绍软刻蚀技术原理、方法以及应用.

关键词：软刻、蚀微接触印刷、微模塑、毛细微模塑、近场光刻蚀、弹性模板

所属期刊栏目：9

分类号：O59(应用物理学)

在线出版日期：2006-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：108-109,111