用于地球物理勘探的MEMS加速度传感器

摘要：

传统速度检波器由于内在结构的限制,其技术性能已不能满足现代高分辨率地震勘探数据采集的要求.美国I/O公司利用MEMS技术研制开发的加速度传感器具有良好的频率响应特性,可在检波器内部进行模/数转换,实现检波器数字信号输出.文章对MEMS技术特点及发展现状、MEMS加速度传感器结构及主要技术性能做简要介绍,并给出了传统检波器与MEMS加速度传感器野外数据采集的具体实例.

关键词：MEMS技术、加速度传感器、频率响应、地震勘探

所属期刊栏目：16

分类号：P62(地质、矿产普查与勘探)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1-4