差动光谱共焦式玻璃基板平面度误差测量系统开发与实践

摘要：

以玻璃基板平面度误差检测为应用场景,研发了一种差动光谱共焦式平面度误差测量系统.依据仪器设计原则和工程任务,完成了测量系统误差分析和精度设计,确定玻璃基板平面度误差测量系统测量原理和总体方案,并完成测量系统设计,包括机械结构、控制系统和系统软件等.在标准环境条件(温度20℃,相对湿度65％)下,分别以二级平板和玻璃基板为被测对象,开展系统结构和精度验证实验;平面度误差分别为10.41μm和4.20μm.测试结果表明,该系统能够准确地对玻璃基板平面度误差进行检测,且测量精度得到提高.

关键词：平面度误差、测量系统、玻璃基板

所属期刊栏目：41

分类号：TG832;G642.423(公差与技术测量及机械量仪)

资助基金：国家自然科学基金;河南省研究生教育改革与质量提升工程项目;河南省研究生教育改革与质量提升工程项目;河南省科技攻关项目;河南省科技攻关项目;河南理工大学博士基金项目

在线出版日期：2023-01-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：87-91