基于Igor Pro实现的低成本电子束直写微加工

摘要：

电子束直写在微纳加工领域有着非常广泛的应用.为了能够实现低成本电子束直写微加工,提出了一个基于Igor Pro的简易方法,此方法的工作原理是通过编写Igor Pro程序控制NI PCI-6251多功能板卡的电压输出,从而控制电子束的运动以实现微纳加工.结果表明,此方法能够应用于加工各种复杂的金微米结构,具有广阔的应用前景.

关键词：微加工、电子束直写、Igor Pro程序、虚拟仪器、金微米结构

所属期刊栏目：37

分类号：TN05(一般性问题)

资助基金：国家自然科学基金项目11504242

在线出版日期：2018-12-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：25-28