探针电流对场发射扫描电镜图像的影响

摘要：

通过对电镜工作原理的研究,分析了不同探针电流对电镜图像分辨率、景深、荷电现象的影响因素,总结了选择最佳探针电流的原则.探针电流升高,束斑直径变大,信噪比变好,但图像分辨率下降,景深减小,荷电现象增强;探针电流降低,束斑直径减小,分辨率增高,景深增加,有利于减弱荷电现象,但是探针电流过小,噪声增大,聚焦困难,图像分辨率反而下降.实验表明,结合样品的特征,灵活地选择探针电流能显著地提高电镜图像质量.

关键词：场发射扫描电镜、探针电流、分辨率、景深、荷电现象

所属期刊栏目：37

分类号：TN16(真空电子技术)

资助基金：重庆市基础科学与前沿技术研究专项cstc2017jcyjAX0077;重庆大学教学改革研究项目2017Y65

在线出版日期：2018-11-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：25-28