微电子工艺和器件仿真实验课程体系的建设

摘要：

为了解决传统微电子工艺和器件实验课程对硬件条件要求高、费用高、耗时长、效果差等问题,将仿真技术应用于微电子工艺和器件实验课程体系建设,设计并实践了包括演示性、验证性、设计性以及综合性等在内的多种类型的实验.相比于工艺和测试的实验方法,应用仿真技术的实验可以更灵活的形式和更丰富的内容覆盖更广的专业课程知识,并与专业课程知识紧密衔接,同时也易于提升实验的开放性.从而有助于提升学生的动手实践能力、增强学生对微电子工艺和器件课程理论知识的理解、提升学习兴趣.

关键词：微电子工艺、微电子器件、实验、仿真

所属期刊栏目：37

分类号：G434;N45(电化教育)

资助基金：陕西高等教育教学改革研究项目15BY23;长安大学本科教学项目2016-240

在线出版日期：2018-07-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：202-204,208