10.3969/j.issn.1006-7167.2018.03.009
电子束蒸发挖坑效应膜厚均匀性的计算新方法
环形锥面蒸发源模型对沉积膜厚均匀性计算有局限性.针对电子束蒸发镀膜挖坑效应设计一种新的小圆锥体蒸发模型,提出一种新的公式计算沉积膜厚均匀性.采用相同工艺条件,不同时间蒸镀二氧化硅薄膜,验证了小圆锥体模型计算电子束蒸发挖坑膜厚均匀性准确可靠,并成功解释了随着蒸发时间的延长,均匀性变差的原因.该方法可以用于实验教学,真空镀膜工艺以及真空镀膜设备生产领域.
电子束蒸发、挖坑效应、真空镀膜设备、膜厚
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TB43(工业通用技术与设备)
2018-06-11(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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