氧化锌声表面波气体传感器对氨气的检测

摘要：

以乙酸锌水溶液为前驱液,采用旋涂法在石英声表面波器件上制备了氧化锌纳米薄膜,研究退火时间对气体声表面波传感器的频率响应及其机制的影响.利用X射线衍射仪对氧化锌纳米薄膜的晶体结构进行了分析,并利用扫描电镜对其表面形貌进行了表征.利用谐振电路测试了声表面波传感器对氨气的频率响应特性.实验中将声表面波器件分为A/B两组进行实验:A组退火1h,制备的气体传感器检测时出频率偏移△fA＞0;B组经过5h退火处理,输出频率偏移△fB分两个阶段,初始△fB＞0然后减小变为△fB＜0.对所得的实验结果进行了理论分析.

关键词：氧化锌纳米薄膜、声表面波传感器、退火、频移

所属期刊栏目：36

分类号：O484.5(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金项目11304032;电子科技大学教改项目2017XJYJ-ZD10,2017XJYS27

在线出版日期：2018-03-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：9-12