基于建筑结构探测的微传感器设计

摘要：

为了改进微光机电系统中加速度集成化差、灵敏度低问题,采用过振保护、稳定性较好固支梁进行加速度传感系统设计.通过环形谐振腔和直波导耦合的方式实现微环谐振腔设计,利用控制波导长度参数实现耦合稳定性、强度等调节.理论分析了实现光强谐振、光放大的过程,固定的固支梁系统,得到了微环谐振腔波长,模型分析得出通过波长变化得到检测微环输出端的光谱变化.传感特性分析表明:微环谐振腔的输出光强谐振峰值高,自由频范围明显小,有利于测量高精度变化量;加速度变化量与输出光谱表现为线性关系,设计的加速度传感系统灵敏度可以达到50 pm/g.

关键词：微光机电系统、固支梁、谐振腔、加速度、微传感器

所属期刊栏目：36

分类号：O433(光学)

在线出版日期：2017-10-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：80-82,86