K9玻璃表面颗粒污染物的激光清洗

摘要：

采用光学显微镜、紫外-可见-近红外分光光度计、图像分析软件等,对K9玻璃表面的灰尘颗粒污染物进行了激光直接辐照清洗及激光诱导等离子体冲击波清洗研究.结果表明,经激光直接辐照清洗后,其透射率得到大幅度的提高,但对微小颗粒移除效果不佳,且易于引起元件的激光辐照损伤;激光诱导等离子体冲击波清洗,能取得更好的清洗效果,且没有出现基底损伤.经激光诱导等离子体清洗后(激光诱导等离子体距样品表面距离1 mm,等效激光作用脉冲数10个,激光波长1 064 nm,激光能量70.7 mJ),K9玻璃表面的355 nm激光损伤阈值(50％损伤几率)由5.8 J/cm2提高到8.0 J/cm2,与基底阈值8.5 J/cm2相当.

关键词：激光直接辐照清洗、激光等离子体冲击波清洗、颗粒污染物、K9玻璃

所属期刊栏目：36

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目61505023

在线出版日期：2017-08-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：5-8,17