柔性薄膜光栅数字化制作及光谱检测应用

摘要：

建立了数字微镜(DMD)数字化制作系统,通过光栅数字掩模生成、曝光、显影、PDMS复制、PDMS固化,制作了PDMS柔性薄膜光栅.将该柔性薄膜光栅应用于光栅光谱仪原理系统中,先对系统进行定标,再测量待测光源波长,波长测量相对偏差为2.10％.为了评估光栅的制作质量,采用光栅光谱仪原理系统对光栅周期进行测量,相对偏差为2.15％;利用光学轮廓仪对光栅二维、三维形貌进行检测,光栅周期相对偏差为1.45％,光栅的整体轮廓光滑,均匀性较好.制作实验及测量结果表明,基于DMD的数字化制作技术为柔性微结构及器件的制作提供了一条简单、高效、低成本、高精度制作的新途径.

关键词：数字化制作、柔性薄膜光栅、光栅光谱仪、原理系统、制作质量

所属期刊栏目：35

分类号：TN305.7(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金61464008;江两省自然科学基金20142BAB211003

在线出版日期：2016-11-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：24-27