NI视觉软件的光学元件厚度测量装置

摘要：

介绍一种基于NI视觉软件的光学元件厚度测量装置.首先介绍光学元件厚度测量的基本原理-迈克尔逊等倾干涉;然后搭建光路,利用CCD进行干涉图像采集,传输到计算机中,利用NI视觉软件对图像进行处理,得出光学元件厚度;最后对测量误差产生的原因和消除途径进行了分析.该装置经过详实周密的数据处理,提高了测量精度和分辨力.

关键词：迈克尔逊干涉仪、等倾干涉、厚度测量、NI视觉软件

所属期刊栏目：35

分类号：TP391.4(计算技术、计算机技术)

在线出版日期：2016-07-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：131-134,142