子孔径拼接在超精密平面加工中的应用

摘要：

在超精密平面加工过程中,面型精度的检测水平往往限制着精度的进一步提高,常规机械加工的测量仪器一般通过打点方式测量精度,能检精度达到μm级,对于面型精度要求更高的工件往往不能满足要求.引入平面干涉仪的光学检测手段,提高能检精度.对于大尺寸工件,采用子孔径拼接技术还原整个面型,节约成本.检测结果指导加工,从而进一步提高工件面型精度.实验结果证明子孔径拼接后面型和实际面型一致,适用于此类加工的检测.

关键词：光学检测、超精密加工、子孔径拼接、陶瓷导轨

所属期刊栏目：35

分类号：TH162

在线出版日期：2016-07-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：34-36